•LEGEX 系列是一款超高精度 CNC 三維測量機，擁有世界最高級別的精度，徹底分析並消除了誤差因素。
•主機底座採用嚴選材料，採用密封結構，實現高剛性、高阻尼。 此外，使用 FEM 結構分析模擬進行徹底的應力分析，以確保幾何運動精度，從而最大限度地減少由於負載波動引起的變形。 此外，我們還引入了多項技術來實現超高精度，例如驅動單元的結構和振動對策。
•用於位置檢測的測量單元配備了超高精度測量單元（內部製造），它結合了熱膨脹係數≈0的超高精度晶化玻璃標尺和高性能反射線性傳感器高分辨率編碼器，​​具有極高的位置檢測能力，可實現超精密的機器控制。
•超高精度機器的安裝環境需要溫度控制室，但溫度校正功能使其可以在廣泛的溫度環境下保證精度。
•為了支持對各種工件進行簡單且超精密的測量，我們準備了多種選件，包括探頭（接觸式和非接觸式）和數據處理器。

型錄下載